第一百六十一章 0c上帝芯片问世(第6/6 页)

一荣俱荣什么意思 辣条鲨手 97 字 2024-11-15 09:53:26
🎁美女直播

林天当初的要求,标注上的光刻序号。

当生产设备都调试完成,林天大手一挥道:“准备生产,硅片清洗烘干涂胶。”

不等蓝绿厂的工程师行动,冯承铭亲自拿硅片去清洗,并放入烘干的运送设备。

林天则是安装掩膜版,数次校准以后,他讲解道:“第一块光掩膜版可以随意放,因为它是地基,之后的三块光掩膜版,必须要做到每一步都要在预定精度范围,1纳米误差都不行。”

“明白了。”

“明白了。”

周围工程师纷纷应答。

在众人围观下,林天开始启动光刻机,进行第一次的曝光,在硅片上作画图案。

第一次曝光结束。

取出硅片蚀刻清洗,紧接着是第二次涂抹光刻胶,林天用上了第二台光刻机。

第二次曝光很明显,他比第一次专注了许多。

“第二次光刻不能用任何偏差,曝光的图案应该在第一次图案纳米图案的中间位置。”

“这就好比一条主干道,第一次我们是修了这个主干道,第二次就是在这个主干道的中间画上一条两边对称的线。”

没有技巧,全凭经验。

林天启动光刻机,进行第二次的曝光,让光刻胶疲软,紧接着继续用蚀刻溶剂清洗。

每次曝光、蚀刻都会在半导体硅片留下图案,一连四次的曝光让冯承铭等工程师看得目瞪口呆。

最后一次时,林天继续讲解道:“第四次曝光,不仅要进行光刻,还要进行离子注入,增加电导性,说白了,就是你们之前学的单次芯片生产步骤。”

“但重点是,我第三步是先刻画道路的左边,第四步,则是要刻画道路的右边,这样一来,完整的电路图案就显现了。”

简单讲述后,他不断用设备调整光掩膜版,当达到预定位置时,他再次启动光刻机。

光刻机在接收到启动指令后,立即就对12寸半导体,接近三百个芯片裸片进行曝光。

五分钟后。

半导体硅片被取出。

此刻所有人大气不敢喘,冯承铭接过硅片以后,亲自去切割检测参数性能。

当检测仪器显示,该裸片的纳米等级是14纳米,并且电路图完美运行那刻,他强压心中的激动,郑重宣布道:

“成了!”

“SOC上帝芯片成了!!!”